工業(yè)測(cè)量中顯微鏡的應(yīng)用十分重要,其使用范圍非常廣泛。特別是對(duì)于電子行業(yè),它是觀察電路板的構(gòu)造與精確測(cè)量距離的有益助手。那么對(duì)于它的專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)大家都了解多少?
今天分享的內(nèi)容就從顯微鏡的主要構(gòu)成與光路圖開(kāi)始吧。
上述中有說(shuō)到顯微鏡的三種照明方式。按照不同的照明方式,觀察成像也不一樣,所以應(yīng)要按照不同的工件以及測(cè)量部位來(lái)挑選適合的照明方式。
是利用透過(guò)輪廓光觀察的方式,尤其是觀察測(cè)量輪廓的時(shí)候使用,邊緣清晰更加容易觀察。
其方式是垂直照射測(cè)量工件的表面,優(yōu)勢(shì)是適合用于表面性狀的觀察與測(cè)量。
外部照明(環(huán)狀光纖·環(huán)狀LED·雙光纖)是利用斜射的光來(lái)照射測(cè)量工件的表面,可以完成立體的、顏色重復(fù)性良好的觀察。
上面我們了解過(guò)了顯微鏡的基礎(chǔ)知識(shí),那么在使用的過(guò)程中會(huì)碰到一些專(zhuān)業(yè)的名詞。這些用語(yǔ)都代表什么意思呢?
綜合放大倍率=目鏡倍率 x 物鏡倍率。
例如:采用10x目鏡和100x物鏡組合時(shí),觀察像的綜合放大倍率=10 x 100=1000x。
視場(chǎng)數(shù)指目鏡是否能在廣視野下進(jìn)行觀察的指標(biāo)。樣品表面的觀察范圍注重點(diǎn)在于目鏡的視場(chǎng)光闌直徑,該直徑的值(以mm為單位)被稱(chēng)作視場(chǎng)數(shù)。F.N=Field Number。
【裝配1x物鏡時(shí),通過(guò)目鏡觀察到的像的直徑為24mm】
通過(guò)采用目鏡觀察時(shí)實(shí)際觀察與觀察工件的實(shí)際范圍。
即FOV:Field Of View
【透過(guò)物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上(成像鏡頭焦點(diǎn)位置)成像,觀察被目鏡放大后的像】
PC顯示器倍率(TV綜合倍率)是指相機(jī)攝像元件對(duì)角線長(zhǎng)度與PC顯示器屏幕對(duì)角線長(zhǎng)度之比。當(dāng)顯微鏡通過(guò)CCD 設(shè)備連接到電腦上進(jìn)行成像觀察時(shí),此時(shí)就應(yīng)要評(píng)價(jià)顯示器倍率了。
PC顯示器倍率(TV綜合倍率)的計(jì)算公式如下所示:
知道了計(jì)算的方式,一起檢測(cè)下學(xué)習(xí)成果吧!測(cè)試如下:
使用10×物鏡?2/3英寸CCD相機(jī)?17英寸顯示器的TV綜合倍率是多少?答案:TV綜合倍率=10 × 39.3=393×(大約400倍)
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工作距離代表的是聚焦時(shí)物鏡鏡頭頭部頂點(diǎn)至檢查物體表面間的距離,在此距離下可完成清晰的對(duì)焦。工作距離越長(zhǎng),那么聚焦時(shí)操作性將會(huì)更好,不需要擔(dān)心鏡頭會(huì)接觸到檢查物體。
WD:Working Distance,距離示意圖如下所示:
齊焦距離表示的為聚焦時(shí)從物鏡安裝位置至合焦時(shí)檢查物體表面間的距離。即PFD:Par Field Distance
在此需要注意的是:倍率不同,對(duì)于從物鏡安裝面至檢查物體表面的距離是沒(méi)有變化的,因此變倍率時(shí)不需要重新對(duì)焦。
焦點(diǎn)距離指鏡頭(主點(diǎn))到焦點(diǎn)的距離。即FD:Focus Distance
焦點(diǎn)深度代表的是聚焦以后,聚焦位置前后移動(dòng),還可以清晰的觀察的前后移動(dòng)范圍。即DOF:Depth Of Focus
在此需要注意的是:高倍率鏡頭倍率越高較深越淺(短)
低倍率鏡頭倍率越低較深越深(長(zhǎng))
在人的視力范圍以下(約0.1至0.3mm)需要利用顯微鏡來(lái)觀察,顯微鏡的觀察方式存在哪些?
垂直照射測(cè)量物表面,此方式適合應(yīng)用在金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。
利用對(duì)從工件發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察,即完成在明視場(chǎng)下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸,同時(shí)可勝任低反射工件的觀察。
觀察具有偏光特性的物質(zhì),更適合應(yīng)用在半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物等表面觀察。
利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束,形成明暗和對(duì)比度變化,可進(jìn)行立體觀察。適用于觀察硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。